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Accueil > Équipes > PEMA > Modélisation plasma et diagnostics

Description

par Alexandre Tallaire - publié le , mis à jour le

L’objectif scientifique de cette opération de recherche porte sur le développement, la caractérisation et la maîtrise de procédés d’élaboration de matériaux carbonés par des techniques utilisant des plasmas hors équilibre. La démarche repose sur la mise en œuvre de diagnostics spectroscopiques permettant de quantifier les espèces chimiques présentes, et enfin la modélisation des écoulements réactifs qui permet de prédire quelles sont les réactions prépondérantes et la distribution des espèces dans le plasma selon les conditions utilisées.

Cette opération s’intéresse plus particulièrement à la maîtrise des réacteurs d’élaboration de films de diamant nanocristallin, polycristallin et monocristallin. La mise au point, le contrôle et l’optimisation de procédés assistés par des techniques de décharges électriques ne peut passer que par une compréhension fine des phénomènes, leur description physique et leur intégration dans des codes permettant l’analyse des phénomènes couplés. Le travail de recherche est donc relatif à la mise au point de méthodes de diagnostics plasma (OES, LIF, ,absorption) et d’outils de modélisation numérique permettant d’étudier les caractéristiques des écoulements plasmas utilisés dans nos procédés.

Plasma modelling at different power densities
Plasma modelling at different power densities
Optical emission spectroscopy of H2/CH4 plasma
Optical emission spectroscopy of H2/CH4 plasma